Е.В. Галушко,  В.Н. Ильин

Разработан новый принцип построения измерительных преобразователей, основанный на представлении измерительного диапазона дискретными моделями пространственного распределения интенсивности монохроматического излучения в виде дифракционных экстремумов. Разработана и реализована на ПЭВМ математическая модель, позволяющая моделировать и отображать дифракционные экстремумы с дискретностью 1 мкм.

Введение

При создании новых прецизионных приборов, включающих маломощные лазерные источники излучения и оптические схемы, основанные на принципах интерференции и дифракции света, на первый план выходит развитие методов нормирования аналоговых сигналов и обработки цифровых измерительных данных. Определяющей в этом случае является степень идентификации геометрических параметров объекта или его положения в измерительной зоне и оптического отклика, или параметров фотоэлектрического импульса.

В современных технологиях по-прежнему актуальна задача, связанная с определением положения технологического объекта в пространстве и величины его перемещения вдоль заданных координат. Из большого числа известных методов измерения наиболее широкое распространение получили оптико-электронные методы, основанные на интерференции света, муаровом эффекте или оптической триангуляции. Первые два связаны с необходимостью размещения на объекте специального оптического элемента, возвращающего излучение на приемную часть, или модулирующего его.

В случае триангуляционного принципа — в измерительное звено входит поверхность объекта, дающая в зависимости от класса чистоты (или степени шероховатости) три вида отражения пучка. -зеркальное (отражение без рассеивания), диффузное отражение по Ламберту и диффузное отражение по Гауссу. По применению триангуляционного принципа существует принципиальное ограничение, связанное с отражающей способностью поверхности объекта, т.е. чем выше класс чистоты поверхности, тем сложнее осуществить этот принцип.

 

pdfСкачать статью целиком

 ЛИТЕРАТУРА

  1. Александров, В.К. Оптико-электронные средства размерного контроля технологических микро-объектов/В.К. Александров. Ю.Н. Биенко, В.Н. Ильин. -Мн.: Наука и техника. 1988.-240 с.
  2. Способ измерения диаметра отверстий: пат. 6564 Респ. Беларусь, МПК7 G 01 В 11/12/ В.Н. Ильин: заявитель ГНУ «Институт электроники НАН Беларуси». - № а 20011062; заявл. 12.12. 2001; опубл. 30. 09. 2004//Бюл. «Изобретения. Полезные модели». №3.2004. - С. 172.
  3. Ильин, В.Н. Оптико-электронные измерительные преобразователи/ В.Н. Ильин, Е.В. Галушко. — Мн.: ИПП Минэкономики РБ. 1996. - 222 с.
  4. Ильин, В.Н. Датчик для измерения линейных перемещений методом оптической триангуляции/ В.Н. Ильин, Д.А. Мнхаевич, В.Н. Фатыхов// Материалы XIV науч.-техн. конф. «Датчики и преобразователи информации систем измерения, контроля и управления». -М.: МГИЭМ, 2002. - С. 316-317.
  5. Ландсберг, Г.С. Оптика/ Г.С. Ландсберг. - М.: Наука. 1976.-928 с.
  6. Нагибина, Н.М. Интерференция и дифракция света/ Н.М. Нагибина. — М.: Энергия. 1974. - 196 с.
  7. Ильин, В.Н. Метод измерения ограничивающих диафрагм по дифракции света в ближней зоне/ В.Н. Ильин, С.А. Малышева, А.А. Ковалева// Оптоэлектронные и информационные технологии: сб. науч. трудов. — Мн.: УП «АРТИ-ФЕКС». 2003. - С. 146-171.